對(duì)原子和分子晶格結構的控制是材料科學(xué)領域研究的永恒課題。衆所周知,嵌段共聚物(BCP)是由不同化學(xué)性質的聚合物通過(guò)共價鍵結合在一起(qǐ)的大分子,基于不同嵌段化學(xué)性質和體積分數的差異,BCP在納米尺度上通過(guò)自組裝可以形成(chéng)多種(zhǒng)微結構(如層狀、螺旋狀、圓柱體和球體等)。
受到原子外延概念的啓發(fā),BCP的自組裝結構可以通過(guò)圖案化模闆進(jìn)行控制,模闆圖案化的方法包括物理和化學(xué)方法。在化學(xué)外方法中,通常是對(duì)模闆進(jìn)行光刻和化學(xué)修飾,優先與BCP中的一種(zhǒng)嵌段産生相互作用,再將(jiāng)BCP塗布到模闆上,根據光刻圖案BCP就(jiù)能(néng)自組織成(chéng)高度有序的納米結構,但這(zhè)方面(miàn)的研究還(hái)很少。
成(chéng)果介紹
美國(guó)工程院院士、阿貢國(guó)家實驗室和芝加哥大學(xué)分子工程院Paul F Nealey教授團隊以PS-b-PMMA爲原料,利用光刻法形成(chéng)2D模闆,實現了嵌段共聚物3D超晶格對(duì)稱性和方向(xiàng)性的精确控制。研究者發(fā)現在模闆上形成(chéng)BCC和FCC圖案後(hòu),PS-b-PMMA在190℃退火後(hòu)形成(chéng)了結構完美的晶格結構。利用圖案化模闆,研究者成(chéng)功制備出具有BCC(001)和FCC(001)結構的283.9 nm厚的薄膜,這(zhè)一厚度分别相當于15和13層膠束,證明這(zhè)一方法可以精确控制距離模闆數百納米外膠束的位置。
BCP超晶格的制備
圖1. 控制BCP超晶格的對(duì)稱性和方向(xiàng)性。(A)化學(xué)外延法工藝流程示意圖,采用光刻制備2D模闆,將(jiāng)BCP旋塗到模闆上,熱退火使BCP定向(xiàng)自組裝(DSA)爲3D超晶格結構;(B-E)不同模闆圖案上的三層 PS-b-PMMA膠束的化學(xué)外延:BCC(001),BCC(110),面(miàn)心立方(FCC)(001)和FCC(110)。每一行從左到右分别爲:晶胞,模闆的2D結構,模闆上組裝晶格的3D結構,自頂向(xiàng)下的掃描電子顯微鏡(SEM),以及在0°和45°拍攝的自組裝薄膜的STEM圖像,不同層上的PMMA核層爲藍色,比例尺00 nm。
爲了證實光刻模闆法的可行性,研究者以聚苯乙烯-b-聚甲基丙烯酸甲酯(PS-b-PMMA,分子量爲81k-b-13k g/mol)爲嵌段共聚物,這(zhè)種(zhǒng)共聚物可以形成(chéng)球形膠束,較短的PMMA嵌段形成(chéng)核層,PS嵌段形成(chéng)殼層,在熔融狀态下,一般會(huì)形成(chéng)體心立方(BCC)晶格,周期爲L BCC=40.1 nm。他們將(jiāng)PS-b-PMMA旋塗到2D模闆上,晶格的平面(miàn)幾何形狀由2D模闆控制,平面(miàn)外晶格參數由PS-b-PMMA膜厚度控制。最後(hòu),研究者將(jiāng)薄膜在190℃下熱退火12小時(shí),采用掃描透射電子顯微鏡(STEM)表征微觀結構。
在BCC(001)結構中,模闆上正方形陣列點距爲L S=L BCC,BCP的薄膜厚度等于L BCC。熱退火後(hòu),頂部SEM圖像顯示薄膜呈現出BCC(001)晶格結構,樣(yàng)品傾斜0°和45°後(hòu)的2D STEM圖像也與BCC(001)和BCC(110)的投影完全吻合。通過(guò)這(zhè)種(zhǒng)方法研究者又成(chéng)功制備出BCC(110)、面(miàn)心立方(FCC)(001)和FCC(110)晶格結構,說(shuō)明這(zhè)種(zhǒng)方法具有精确控制BCC和FCC晶格取向(xiàng)的能(néng)力。
研究者認爲要想通過(guò)化學(xué)外延的方法控制BCP微結構,需要嚴格控制如下三個條件:(i)2D模闆與晶格平面(miàn)相匹配;(ii)薄膜厚度與平面(miàn)間距相匹配;(iii)兩(liǎng)個嵌段都(dōu)不會(huì)在自由表面(miàn)上優先排列。
BCP超晶格的穩定性
圖2. 利用3D定向(xiàng)自組裝 (DSA)實現 Bain轉變。(A)BCC和FCC晶格可以實現Bain轉變,黑線和紅球标記用于描述這(zhè)一轉換的BCT晶胞;(B)僞晶外延的處理窗口;(C)BCT中的BCT晶胞和相應的Wigner-Seitz晶胞(紅色多面(miàn)體)示意圖;(D)不同晶格對(duì)稱性的Wigner-Seitz晶胞的球形度。
應變對(duì)晶格穩定性有顯著(zhe)影響,研究者研究了雙軸拉伸和壓縮應變下BCP超晶格的穩定性。針對(duì)BCC(001)結構,研究者將(jiāng)模闆間距L S從33nm增加到47nm,將(jiāng)膜厚度從34.1nm增加到58.8 nm後(hòu),生成(chéng)的晶格包含了三層膠束,表現出體心四方(BCT)對(duì)稱性,面(miàn)内晶格參數a=L S,面(miàn)外晶格參數c等于膜厚。這(zhè)種(zhǒng)四邊形扭曲將(jiāng)BCC與FCC連接起(qǐ)來,稱爲Bain轉變。研究者用SEM發(fā)現了三種(zhǒng)不同類型的微結構:(i)排列有序的自組裝、(ii)梯田和孔島結構以及(iii)随機自組裝。
研究者將(jiāng)描述晶格類型的c/a參數與歸一化晶胞體積進(jìn)行了關聯,發(fā)現當c/a在0.81~1.56範圍内時(shí),都(dōu)能(néng)得到完美的微結構(綠色實心圓),說(shuō)明BCC到FCC可以沿著(zhe)Bain路徑連續變化;在此範圍外,結構有序性則較差(紅色空心圓圈)。
BCP超晶格最多能(néng)長(cháng)多厚
圖3. 在厚膜中實現DSA。(A)具有不同膜厚的BCC(001)和FCC(001)模闆上的DSA,隻有當薄膜厚度與相應的層間距(綠色虛線)相對(duì)應時(shí),才能(néng)獲得有序結構;(B)283.9 nm厚的薄膜中DSA的SEM圖像,比例尺100 nm。
當BCP薄膜厚度與相應模闆的層間距不匹配時(shí),很難生長(cháng)出厚的有序薄膜;當兩(liǎng)者相匹配時(shí),BCC(001)和FCC(001)都(dōu)能(néng)以完美的結構排列出283.9 nm厚的薄膜,證明了這(zhè)種(zhǒng)方法能(néng)夠精确地控制距離模闆數百納米外膠束的位置,對(duì)于BCC(001)和FCC(001)來說(shuō),該厚度分别相當于15和13層膠束。
界面(miàn)導緻BCP超晶格重構
圖4. 通過(guò)晶格畸變形成(chéng)蜂窩晶格。(A)STEM斷層掃描發(fā)現頂層和底層的六邊形對(duì)稱性以及中間層的蜂窩狀對(duì)稱性;(B)沿(A)中金色虛線的數字切片顯示出三層蜂窩狀晶格結構;(C)BCC(111)和蜂窩晶格的3D示意圖,顯示出Wigner-Seitz排列;(D)(C)中金色平面(miàn)的橫截面(miàn),顯示出BCC(111)表面(miàn)有起(qǐ)伏,蜂窩狀晶格表面(miàn)平坦,比例尺50 nm。
在BCP薄膜中,由于基闆和自由表面(miàn)的存在,會(huì)破壞BCP晶格的對(duì)稱性。對(duì)于BCC(111)晶格,模闆爲六邊形圖案,研究者認爲隻有當膜厚度爲三個BCC(111)平面(miàn)間距且包含四層BCP膠束時(shí),才能(néng)在薄膜表面(miàn)同樣(yàng)形成(chéng)六邊形圖案。
實際上,STEM斷層掃描顯示該薄膜由三層膠束組成(chéng):蜂窩狀的中心層夾在頂部和底部的六角形膠束之間,頂部和底部的膠束中PMMA核位于蜂窩層六元環的中心。這(zhè)種(zhǒng)獨特的混合結構與四層膠束結構不同,雖然頂部和底部相同,但是BCC晶格的兩(liǎng)個中間層“合并”爲一層蜂窩狀晶格。
由于存在薄膜約束,研究者通過(guò)分析嵌段共聚物的鏈拉伸,認爲蜂窩狀晶格在結構上優于BCC晶格。如果膠束仍然采用BCC對(duì)稱,由于存在兩(liǎng)個中間層,則Wigner-Seitz晶胞形成(chéng)的表面(miàn)將(jiāng)不再平坦,此時(shí)爲了維持BCC晶格并滿足平坦的邊界條件,兩(liǎng)個中間層的PS殼層需要重新分布,這(zhè)必然産生嚴重的熵懲罰。相反,膠束不采用BCC結構,合并兩(liǎng)個中間層爲一個蜂窩層結構就(jiù)會(huì)更加穩定。
小結:爲了形成(chéng)完美的嵌段共聚物超晶格,美國(guó)工程院院士、阿貢國(guó)家實驗室和芝加哥大學(xué)分子工程院Paul F Nealey教授以PS-b-PMMA爲原料,利用光刻法形成(chéng)BCC和FCC結構的模闆,當模闆上正方形陣列點距L BCC,BCP薄膜厚度等于L BCC時(shí),實現了嵌段共聚物3D超晶格對(duì)稱性和方向(xiàng)性的精确控制。當c/a在0.81~1.56範圍内時(shí),嵌段共聚物都(dōu)能(néng)得到完美的微結構,BCC可以沿著(zhe)Bain路徑連續變化爲FCC。當BCP薄膜厚度與相應模闆的層間距匹配時(shí),BCC(001)和FCC(001)都(dōu)能(néng)以完美的結構排列出283.9 nm厚的薄膜,這(zhè)一厚度分别相當于15和13層膠束。由于模闆界面(miàn)和自由表面(miàn)的存在,BCC晶格的兩(liǎng)個中間層往往合并爲一層蜂窩狀晶格。研究者認爲需要嚴格控制如下三個條件才能(néng)得到完美的超晶格結構:(i)2D模闆與晶格平面(miàn)相匹配;(ii)薄膜厚度與平面(miàn)間距相匹配;(iii)兩(liǎng)個嵌段都(dōu)不會(huì)在自由表面(miàn)上優先排列。
來源:https://advances.sciencemag.org/content/6/24/eaaz0002
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